Journal of Experimental and Theoretical Physics
HOME | SEARCH | AUTHORS | HELP      
Journal Issues
Golden Pages
About This journal
Aims and Scope
Editorial Board
Manuscript Submission
Guidelines for Authors
Manuscript Status
Contacts


ZhETF, Vol. 153, No. 6, p. 982 (June 2018)
(English translation - JETP, Vol. 126, No. 6, June 2018 available online at www.springer.com )

Ближний порядок в аморфном и кристаллическом сегнетоэлектрическом Hf0.5Zr0.5O2
Эренбург С.Б., Трубина С.В., Квашнина К.О., Кручинин В.Н., Гриценко В.В., Черникова А.Г., Маркеев А.М.

Received: February 14, 2018

DOI: 10.7868/S0044451018060135

PDF (1317.9K)

Методами рентгеновской спектроскопии и эллипсометрии исследована микроструктура аморфных и поликристаллических сегнетоэлектрических пленок Hf0.5Zr0.5O2. Из анализа рентгеновских спектров поглощения установлено, что аморфная пленка представляет собой «не полностью перемешанный» твердый раствор металлических оксидов HfO2 и ZrO2. Установлено также, что после быстрого термического отжига образцы смешанных оксидов Hf0.5Zr0.5O2 имеют более упорядоченную поликристаллическую структуру. При этом в пленках образуются отдельные островки фаз монооксидов Hf и Zr, соприкасающиеся на границах раздела и имеющие размеры порядка нескольких нанометров со структурой, аналогичной моноклинной структуре HfO2 и ZrO2. На основе результатов, полученных методом эллипсометрии, для образцов Hf0.5Zr0.5O2 также обнаружено присутствие фаз HfO2 и ZrO2.

 
Report problems