Журнал Экспериментальной и Теоретической Физики
НАЧАЛО | ПОИСК | ДЛЯ АВТОРОВ | ПОМОЩЬ      e
Общая информация о журнале
Золотые страницы
Адреса редакции
Содержание журнала
Сообщения редакции
Правила для авторов
Загрузить статью
Проверить статус статьи


ЖЭТФ, Том 153, Вып. 6, стр. 982 (Июнь 2018)
(Английский перевод - JETP, Vol. 126, No 6, June 2018 доступен on-line на www.springer.com )

Ближний порядок в аморфном и кристаллическом сегнетоэлектрическом Hf0.5Zr0.5O2
Эренбург С.Б., Трубина С.В., Квашнина К.О., Кручинин В.Н., Гриценко В.В., Черникова А.Г., Маркеев А.М.

Поступила в редакцию: 14 Февраля 2018

DOI: 10.7868/S0044451018060135

PDF (1317.9K)

Методами рентгеновской спектроскопии и эллипсометрии исследована микроструктура аморфных и поликристаллических сегнетоэлектрических пленок Hf0.5Zr0.5O2. Из анализа рентгеновских спектров поглощения установлено, что аморфная пленка представляет собой «не полностью перемешанный» твердый раствор металлических оксидов HfO2 и ZrO2. Установлено также, что после быстрого термического отжига образцы смешанных оксидов Hf0.5Zr0.5O2 имеют более упорядоченную поликристаллическую структуру. При этом в пленках образуются отдельные островки фаз монооксидов Hf и Zr, соприкасающиеся на границах раздела и имеющие размеры порядка нескольких нанометров со структурой, аналогичной моноклинной структуре HfO2 и ZrO2. На основе результатов, полученных методом эллипсометрии, для образцов Hf0.5Zr0.5O2 также обнаружено присутствие фаз HfO2 и ZrO2.

 
Сообщить о технических проблемах