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13
1. $a-SiN_x:H$
.., .., .., .., Chin A., ..
, 2019 ., 156, . 2, . 0

2. Lu2 O3
3.
4. ,
5. ab initio δ- Ta2 O5
6. Al2 O3 - ab initio
7. TiO2 : ab initio
8. ab initio -
9. SiO_2:
.., .., ..
, 1995 ., 108, . 6, . 2216

10. SiO2:
11. ----
12. , SiNx
13. ZrO2